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捷先微简讯芯片制造关键装备,离子注入 [复制链接]

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捷先微简讯

年3月18日,星期四,农历二月初六,

深圳多云,21~29℃,

空气质量:优,PM2.5:37微克/立方。

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离子注入机是芯片制造中的关键装备。多年来,电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术,自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机,工艺段覆盖至28nm,实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展,有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。

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更有信心和期待,我国是全球经济复苏与可持续发展的重要引擎。

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31省份发布年5G网络建设目标,多地将覆盖到乡镇。

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优化营商环境,强化创新驱动,湖北经济重振跑出加速度。

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